Detail předmětu

Microelectronic Technologies

FEKT-DKA-ME2Ak. rok: 2023/2024

Předmět je zaměřen na studium mikroelektronických technologií formou seminářů a samostudia. Student získá přehled o základních a pokročilých metodách a technikách, využítí materiálů a pravidlech vytváření mikrostruktur. Bude se umět orientovat v oblasti návrhu a výroby včetně využítí nanotechnologií v mikroelektronice.

Jazyk výuky

angličtina

Počet kreditů

4

Garant předmětu

prof. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav mikroelektroniky (UMEL)

Nabízen zahradničním studentům

Pouze domovské fakulty

Vstupní znalosti

není

Pravidla hodnocení a ukončení předmětu

Hodnocení ústní zkoušky dle připravené prezentace, pochopení problematiky, schopnost prezentovat a nastudovaná literatura.

Učební cíle

Student se seznámí se základními i pokročilými metodami a technikami vytváření mikrostruktur a polovodičových součástek, s materiály, pravidly pro jejich realizaci a moderními nanotechnologiemi v polovodičovém průmyslu.
Přehled metod a technik v tenkovrstvé a polovodičové technologii, schopnost návrhu miktrostruktur a nanostruktur za využití pokročilých technik výroby.

Základní literatura

MEMS and Nanotechnology Clearinghouse, http://www.memsnet.org (EN)
TJ. Coutts, Active and Passive Thin Film Device. Academic Press, London 1978, pp.1-858 (EN)

Doporučená literatura

H.O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. William Andrew Publishing, LLC Norwish, NY, USA, 1999, ISBN 0-8155-1432-8 (EN)
S. Sivaram, Chemical Vapor Deposition. International Thomson Publishing Inc., 1995, ISBN 0-442-01079-6 (EN)
M.A. Reed and T. Lee, Molecular Nanoelectronics. American Scientific Publisher, 2003, ISBN 1-58883-006-3 (EN)
Courtesy Sandia National Laboratories, SUMMiTTM Technologies, www.mems.sandia.gov (EN)
Michael Kraft: Micromachined Inertial Sensors Recent Developments at BSAC, prezentace, Berkeley Sensor &Actuator Center, California,USA (EN)
C.T. Leondes, MEMS/NEMS Handbook: Techniques and Applications, Vol. 1-5. Springer Science, 2006 (EN)
H.S. Nalez, Handbook of Organic-Inorganic Hybrid Materials and Nanocoposities, Vol. 1-2, American Scientific Publisher, 2003. (EN)

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program DKA-KAM doktorský, libovolný ročník, letní semestr, povinně volitelný
  • Program DKA-EKT doktorský, libovolný ročník, letní semestr, povinně volitelný
  • Program DKA-MET doktorský, libovolný ročník, letní semestr, povinně volitelný
  • Program DKA-SEE doktorský, libovolný ročník, letní semestr, povinně volitelný
  • Program DKA-TLI doktorský, libovolný ročník, letní semestr, povinně volitelný
  • Program DKA-TEE doktorský, libovolný ročník, letní semestr, povinně volitelný

Typ (způsob) výuky

 

Konzultace

39 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.