Tento projekt byl spolufinancován se státní podporou Technologické agentury ČR v rámci Programu průmyslového výzkumu a experimentálního vývoje TREND
www.tacr.cz
Výzkum užitečný pro společnost.

Detail projektu

Pokročilé laserově odolné optické elementy pro průmyslové aplikace

Období řešení: 01.01.2020 — 31.12.2023

Zdroje financování

Technologická agentura ČR - Program průmyslového výzkumu a experimentálního vývoje TREND

- plně financující (2020-03-25 - 2023-12-31)

O projektu

Narůstající požadavky polovodičového průmyslu nutí firmy k vývoji stále dokonalejších optických elementů a také optických vrstev a to zejména v oblasti DUV a NIR. Problematika odolnosti optických vrstev se dostala do popředí s postupným zaváděním výkonových optických zdrojů do průmyslových odvětví. Jde o stále se rozvíjející aplikace v oblasti litografie, laserového řezání, optického kontaktování nebo pájení. Tyto vysokovýkonové lasery potřebují optické sestavy pro přenesení a formování svazku do pracovního prostoru. Tyto sestavy, čítající optické skla a funkční optické vrstvy, musí být schopné bez poškození přenést dané hustoty výkonu. Z optického hlediska tak jde o přenos optického svazku o velmi vysoké energetické hustotě na substrát.

Klíčová slova
optika;lasery;polovodiče;SEM;TEM;SIMS;XPS;SPM

Označení

FW01010191

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Bábor Petr, Ing., Ph.D. - hlavní řešitel

Útvary

Příprava a charakterizace nanostruktur
- příjemce (01.07.2019 - nezadáno)

Výsledky

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.: MEO_DP0029_2021_GFUNK03; Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm. Meopta Přerov. (funkční vzorek)
Detail

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; ZDRÁHAL, J.; PEKAŘ, V.: MEO_DP0029_2023_GFUNK05; Laserově odolný reflexní optický element pro 1 030 nm. Bude použito ve výrobě ve fimě Meopta. (funkční vzorek)
Detail

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; ZDRÁHAL, J.: MEO_DP0029_2023_GFUNK06; Laserově odolný reflexní optický element pro 2 000 nm. Bude použito ve výrobě firmy Meopta.. (funkční vzorek)
Detail

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.: MEO_DP0029_2021_GFUNK04; Laserově odolný antireflexní optický element pro 2 000 nm. Meopta Přerov. (funkční vzorek)
Detail

Odpovědnost: Bábor Petr, Ing., Ph.D.