This project was co-financed with state support of the CR Technological Agency as part of Programu průmyslového výzkumu a experimentálního vývoje TREND
www.tacr.cz
Research useful for society.

Project detail

Pokročilé laserově odolné optické elementy pro průmyslové aplikace

Duration: 01.01.2020 — 31.12.2023

Funding resources

Technologická agentura ČR - Program průmyslového výzkumu a experimentálního vývoje TREND

- whole funder (2020-03-25 - 2023-12-31)

On the project

Narůstající požadavky polovodičového průmyslu nutí firmy k vývoji stále dokonalejších optických elementů a také optických vrstev a to zejména v oblasti DUV a NIR. Problematika odolnosti optických vrstev se dostala do popředí s postupným zaváděním výkonových optických zdrojů do průmyslových odvětví. Jde o stále se rozvíjející aplikace v oblasti litografie, laserového řezání, optického kontaktování nebo pájení. Tyto vysokovýkonové lasery potřebují optické sestavy pro přenesení a formování svazku do pracovního prostoru. Tyto sestavy, čítající optické skla a funkční optické vrstvy, musí být schopné bez poškození přenést dané hustoty výkonu. Z optického hlediska tak jde o přenos optického svazku o velmi vysoké energetické hustotě na substrát.

Keywords
optika;lasery;polovodiče;SEM;TEM;SIMS;XPS;SPM

Mark

FW01010191

Default language

Czech

People responsible

Bábor Petr, Ing., Ph.D. - principal person responsible

Units

Fabrication and Characteris. of Nanostr.
- (2019-07-01 - not assigned)

Results

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.: MEO_DP0029_2021_GFUNK03; Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm. Meopta Přerov. (funkční vzorek)
Detail

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; ZDRÁHAL, J.; PEKAŘ, V.: MEO_DP0029_2023_GFUNK05; Laserově odolný reflexní optický element pro 1 030 nm. Bude použito ve výrobě ve fimě Meopta. (funkční vzorek)
Detail

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; ZDRÁHAL, J.: MEO_DP0029_2023_GFUNK06; Laserově odolný reflexní optický element pro 2 000 nm. Bude použito ve výrobě firmy Meopta.. (funkční vzorek)
Detail

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.: MEO_DP0029_2021_GFUNK04; Laserově odolný antireflexní optický element pro 2 000 nm. Meopta Přerov. (funkční vzorek)
Detail

Responsibility: Bábor Petr, Ing., Ph.D.