Detail aplikovaného výsledku

Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm.

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.

Originální název

Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm.

Anglický název

Laser resistant reflection optical element at 266 nm.

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Laserově odolná vysokoreflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 0F kombinující systém Al 2 O 3 /SiO 2 technologií napařování pomocí elektronového svazku. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu 1 500 W/cm2 pro pulsní laser λ = 266 nm, šířka pulsu 4 ns a opakovací frekvence 100 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

Abstrakt aglicky

Laser resistant highreflective coating on Corning 7980 HPFS 0F witness glass (in DUV quality) with applied coating combining Al2O3/SiO2 prepared by e-beam evaporation technology. The LIDT laser resistance limit was set as > 1 500 J/cm2 for operating pulsed laser λ = 266 nm, a pulse width of 4 ns and a repetition frequency of 100 Hz certified by ISO 21254-2.

Klíčová slova

optical coating, DUV, LIDT

Klíčová slova anglicky

optical coating, DUV, LIDT

Umístění

Meopta Přerov

Licenční poplatek

Výsledek je využíván vlastníkem