Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail oboru
FSIZkratka: D-FMIAk. rok: 2015/2016Zaměření: Fyzikální inženýrství
Program: Fyzikální a materiálové inženýrství
Délka studia: 4 roky
Akreditace od: Akreditace do: 31.12.2020
Profil
Cílem studia je poskytnout studentům vzdělání a umožnit jim vědecký výzkum v oblastech inženýrská optika, fyzika povrchů, mikromechanika materiálů, strojírenské materiály, fyzikální metalurgie a aplikovaný výzkum keramiky.
Garant
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc.
Vypsaná témata doktorského studijního programu
Návrh elektrostatického vychylovacího a korekčního systému. V elektronovou litografii je nutné použít dynamickou fokusaci a dynamické stigmátory pro korekci vad vychylovacího systému pro dosažení optimálního tvaru stopy. Cílem práce je prostudovat možnosti dynamické korekce vad vychýlení a navrhnout optický systém pro litografii. Určit citlivost dynamické fokusace a stigmování pro ELG s Gaussovským svazkem. Ilustrovat na příkladu čoček ELG 600 (objektiv a poslední kondenzor), doplněný o elektrostatický vychylovací systém a jeho porovnání s existujícím magnetickým systémem. Slabá elektrostatická čočka ve zmenšovacím kondenzoru se může použít pro dynamickou fokusaci (posuv křižiště tak, aby po vychýlení byla stopa ostrá). Jaká geometrie je nejvhodnější pro tuto čočku, jaká je její účinnost? Jak funguje dynamický stigmátor a jak ovlivňuje zkreslení vychylovacího systému?
Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.
- maticová metoda výpočtu elektronově optických systémů - započtení vad seřízení a vad pátého řádu - implementace metody diferenciálních algeber pro výpočet koeficientů vad libovolného řádu
Vychylovací elektrostatický systém sestává zpravidla z 8 elektrod, které jsou přesně vyrobeny a sestaveny, a na ně je přiváděno přesně zvolené napětí. V případě, kdy není geometrie přesná (jedna nebo více elektrod mají nevhodné rozměry a mezery mezi elektrodami nejsou stejné nebo malé) nebo nejsou napětí na elektrodách správná, vychylovací pole se mění. Pokud jsou odchylky malé, započteme je jako přídavná pole fokusační, dipólová, kvadrupólová a hexapólová. Pokud je ale jedna elektroda posunuta nebo nakloněna, bude třeba sáhnout k 3D výpočtům elektrostatického pole. Důležité je také charakterizovat vady optického systému v důsledku těchto dodatečných polí.
V elektronové optice při návrhu soustav čoček, ať už rotačně souměrných nebo kvadrupólových, je třeba určit chování dané soustavy a případně ji optimalizovat tak, aby splněny zadané podmínky (dosažení dané polohy obrazu, zvětšení, rotace obrazu v magnetické čočce, velikosti vad a vad v důsledku neseřízení daného optického prvku). Nejprve prozkoumejte chování několika geometrií čoček (ohnisková dálka, vady) v závislosti na jejich buzení a nejvhodnější vyjádření této závislosti vhodné pro interpolaci. Pro složitější systémy s více prvky v soustavě je třeba vypracovat metodiku výpočtu a optimalizace soustav.
Studijní plán oboru není zatím pro tento rok vygenerován.