Detail aplikovaného výsledku

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

PEKÁREK, J.; MAGÁT, M.

Originální název

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

Anglický název

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Abstrakt aglicky

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Klíčová slova

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Klíčová slova anglicky

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Umístění

Laboratoř T10-N0.67

Možnosti využití

výsledek využívá pouze poskytovatel

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf