Funkční vzorek pro analýzy vlivů velikosti a tvarů otvorů clonek při čerpání plynů pro vytvoření vakua.

Functional analysis of the effects of sample size and shape of the opening aperture when pumping gas for creating a vacuum.

Funkční vzorek

Zařízení pro analýzy proudění plynů s různými variantami clonek pro zařízení enviromentálního rastovacího elektronévého mikroskopu. Především diferenciálně čerpané komory a scintilačního detektoru s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod elektronů v návaznosti na předchozích analýzách systémem využívající metodu konečných objemů.

Equipment for analysis of gas flow apertures for different variants of the scintillation detector, with a view to optimizing the conditions for the passage of secondary electrons, following the earlier analysis system using the method of finite volumes.

ESEM, scintillation SE detector, electron microscopy

ESEM, scintillation SE detector, electron microscopy

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

výsledek využívá pouze poskytovatel

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)