Detail aplikovaného výsledku

IonProfile

BÁBOR, P.; DUDA, R.; ŠIKOLA, T.; PAVERA, M.; POLČÁK, J.

Originální název

IonProfile

Anglický název

IonProfile

Druh

Software

Abstrakt

Soubor programů umožňující řízení hloubkových profiloměrů SIMS, TOF-LEIS a XPS. Jsou zde zahrnuty programy pro zpracování a simulace měřených dat metodou TOF-LEIS.

Abstrakt aglicky

Software package for controlling of SIMS, TOF-SIMS and XPS profilometers. It includes software for evaluation and simulation of TOF-LEIS measured data.

Klíčová slova

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profiling, simulation, sputtering, ions

Klíčová slova anglicky

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profiling, simulation, sputtering, ions

Umístění

Laboratoř 518

Možnosti využití

výsledek využívá pouze poskytovatel

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

www

http://physics.fme.vutbr.cz/ufi.php?Action=0&Id=1854