3D optický profilometr

3D optical profiler

Funkční vzorek

Zařízení slouží pro měření topografie povrchu s vertikální rozlišitelností v desetinách nm a dynamickým rozsahem do desítek mikrometrů. Sestava se skládá z průmyslového mikroskopu s telecentrickým chodem paprsků a episkopickým osvětlovačem Nikon Eclipse LV150, na který je namontován Miraův interferenční objektiv s piezoelektrickým posuvem. Ten je ovládán řídící jednotkou piezoelektrického posuvu, která je propojena s počítačem. Jako zdroj bílého světla se využívá halogenové žárovky, pro monochromatické měření je doplněn o úzkopásmový filtr. Interferenční obraz je snímám monochromatickou CMOS kamerou a digitálně zpracováván v PC. K ustavení měřeného povrchu do roviny se používá naklápěcího stolku s mikrometrickými šrouby. Celá měřicí sestava je upevněna na stole se vzduchovým tlumením, který redukuje přenos vibrací z okolí.

The device is optical measurement equipment for surface topography study in range of nm. The equipment is based on industrial microscope Nikon Eclipse LV150 with telecentric light beam and episcopic illuminator. The microscope is fitted with Mirau interference objective and piezoelectric transducer operated by control unit connected with a PC. Halogen bulb is used as a white light source for monochromatic measurement it is complemented by narrowband filter. Interferograms are taken by monochromatic CMOS camera and digitally evaluated in the PC. Precise levelling table ensure the horizontal position for measurement results. The whole apparatus is fitted on an optical table to reduce vibration transmition from ambient space.

profiler, PZT, surface topography, interferometry

profiler, PZT, surface topography, interferometry

laboratoř č. A2/421 ÚSTAV KONSTRUOVÁNÍ Fakulta strojního inženýrství Vysoké učení technické v Brně Technická 2896/2 616 69 BRNO Česká Republika

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

http://dl.uk.fme.vutbr.cz/zobraz_soubor.php?id=1112