Detail aplikovaného výsledku

Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.

POLČÁK, J.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.; ČECHAL, J.

Originální název

Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.

Anglický název

Computer controlled UHV manipulator for automatic measurement of XPS spectra.

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

UHV manipulátor s řídicí jednotkou. Elektronické ovládání polohy (osa y), polární a azimutální rotace. Ruční posuv v horizontální rovině (osa x). Software pro automatické měření polohově a úhlově závislých spekter XPS.

Abstrakt aglicky

UHV manipulator equipped with an electronic control unit. Vertical movement (y-axis), polar and azimuthal rotations controlled by the unit. Horizontal transverse (x-axos) controlled by hand. Software for automatic measurement of y-axis and angle resolved XPS spectra.

Klíčová slova

UHV manipulator, ARXPS, ultra thin films, automatic measurement

Klíčová slova anglicky

UHV manipulator, ARXPS, ultra thin films, automatic measurement

Umístění

A2/518

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

www