Detail aplikovaného výsledku

Ultravakuová aparatura pro přípravu nanostruktur metodou MBE

BÁBOR, P.; ČECHAL, J.; ŠIKOLA, T.

Originální název

Ultravakuová aparatura pro přípravu nanostruktur metodou MBE

Anglický název

Ultrahigh vacuum chamber for preparation of nanostructures by molecular beam epitaxy (MBE)

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

UHV komora vybavená dvěma efůzními komerčními celami (Co, Cu), manipulátorem a zařízením pro monitorování morfologie a atomárních struktury (RHEED).

Abstrakt aglicky

UHV chamber equipped by two effusion cells (Co, Cu), manipulator, device for characterization of the atomic structure and surface morphology (RHEED)

Klíčová slova

ultrahigh vacuum chamber, MBE, RHEED, nanostructures

Klíčová slova anglicky

ultrahigh vacuum chamber, MBE, RHEED, nanostructures

Umístění

A2/518

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence