Detail publikačního výsledku

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

ČECHAL, J.; TICHOPÁDEK, P.; NEBOJSA, A.; BONAVENTUROVÁ, O.; URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.

Originální název

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Anglický název

In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Druh

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Originální abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Anglický abstrakt

Paper deals with an in situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS

Klíčová slova v angličtině

PMPSi, optical degradation. spectroscopic ellipsometry, XPS

Autoři

ČECHAL, J.; TICHOPÁDEK, P.; NEBOJSA, A.; BONAVENTUROVÁ, O.; URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2011

Vydáno

01.01.2004

ISSN

0142-2421

Periodikum

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS

Svazek

38

Číslo

8

Stát

Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Strany od

1218

Strany počet

4

BibTex

@article{BUT42361,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová} and Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola}",
  title="In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  journal="SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS",
  year="2004",
  volume="38",
  number="8",
  pages="4",
  issn="0142-2421"
}