Funkční vzorek vakuového manipulátoru pro LIBS

Functional sample of vacuum stage for LIBS

Funkční vzorek

Třiosý motorizovaný manipulátor navržený pro fungování v podmínkách hlubokého vakua až 10-6 mbar. Manipulátor se skládá ze 3 os (X, Y, Z), přičemž každá má rozsah pohybu 100 mm. Jednotlivé osy jsou vybaveny lineárním vedením s odměřováním pro zpětnou vazbu, díky čemuž je možné zvýšit přesnost pohybu pod 1 µm.

Three-axis motorized stage designed to withstand conditions of high vacuum reaching 10-6 mbar. The stage is completed from three axes (X, Y, Z) where each one of them ranges 100 mm. Individual axes are designed to provide linear movement with feedback to ascertain the accuracy of movement below 1 µm.

LIBS;vacuum;stage

LIBS;vacuum;stage

Provoz společnosti Lightigo

Doposud nevyužívaný výsledek

FW06010042_FV-VacuSpec-manipulátor 2023