Detail aplikovaného výsledku

Prekurzorový vstup do reaktoru

KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.; ELIÁŠ, M.

Originální název

Anglický název

Precursor inlet into CVD reactor

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Difuzor z nerezové oceli pro rovnoměrnou distribuci plynů v CVD aparatuře, se vstupy se Swagelok koncovkou.

Abstrakt aglicky

Gas diffusor from stainless steel for equal distribution of gases in CVD chamber, with inlets with Swagelok connection.

Klíčová slova

chemical vapor deposition, diffusor, precursor

Klíčová slova anglicky

chemical vapor deposition, diffusor, precursor

Umístění

laboratoře CEITEC Nano

Licenční poplatek

Výsledek je využíván vlastníkem

www

VUT