Detail produktu

Výroba a optimalizace dielektrických metačoček

ROVENSKÁ, K. HRTOŇ, M. KEPIČ, P. LIGMAJER, F. DVOŘÁK, P. ŠIKOLA, T.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Optický metapovrch se skládá ze stavebních kamenů – nanostruktur – kterými je možné ovládat fázi prošlého světla s vysokým prostorovým rozlišením a replikovat tak funkčnost tradičních optických prvků za současného výrazného zmenšení jejich celkové tloušťky. Plasmonické optické metapovrchy sestávající z kovových stavebních kamenů mají jen omezenou schopnost měnit fázi světla, které jimi projde, a taky v nich dochází ke ztrátám způsobeným absorpcí. Dielektrické optické metapovrchy tato omezení nemají a jsou obecně účinnější – výroba jejich stavebních kamenů ale bývá zpravidla náročná. Pro přípravu dielektrického optického metapovrchu s funkčností spojné čočky byla na transparentní substrát z taveného křemene nejdříve pomocí magnetronového naprašování nanesena 550 nm vysoká vrstva oxidu titaničitého. Tato dielektrická vrstva byla následně upravena do podoby stavebních kamenů metapovrchu selektivním reaktivním iontovým leptáním přes chromovou masku vytvořenou pomocí elektronové litografie. Tvary a velikosti výsledných stavebních kamenů metapovchu byly kontrolovány pomocí rastrovací elektronové mikroskopie. Metapovrch byl navrhnut pro záření s vlnovou délkou 650 nm. Stavební kameny z oxidu titaničitého ve tvarech válců s výškou 550 nm a průměrmi 100 nm a 175 nm jsou na metapovrchu umístěny ve čtvercové síti s rozestupy 400 nm a střídají se v zónách tvořených ze soustředných kružnic, čím je zabezpečena funkčnost metapovrchu – spojné čočky. Plocha vytvořené spojné čočky je 100 μm x 100 μm a její ohnisková vzdálenost byla experimentálně určena jako (63±5) μm.

Klíčová slova

dielektrické metapovrchy; metačočka

Datum vzniku

31.12.2020

Umístění

CEITEC VUT, Purkyňova 123, Brno-Medlánky, 612 00

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www

Dokumenty