Detail aplikovaného výsledku

Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM

MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.

Originální název

Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM

Anglický název

Functional sample of atomic hydrogen source for SEM

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Zdroj atomárního vodíku kompatibilní s mikroskopovou řaodu FEI. Provozní parametry zdroje (zejména pracovní tlak) souhlasí s fyzikálními podmínkami pozorování v SEM, zdroj je modulární a jeho začlenění do SEM nijak neomezuje ostatní použití SEM

Abstrakt aglicky

Source of atomic hydrogen compatible with Thermo Fisher microscopes. The working parameters (pressure most importantly) match those of SEM, the source is modular and its integration into SEM does not restrict other SEM usecases.

Klíčová slova

hydrogen, scanning electron microscope, particle sources

Klíčová slova anglicky

hydrogen, scanning electron microscope, particle sources

Umístění

A2/518, Technická 2, Brno 61669

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

www