Detail aplikovaného výsledku

Vícecestný kapalinový ventil

HRDÝ, R.; ŽÁK, J.; HUBÁLEK, J.

Originální název

Vícecestný kapalinový ventil

Anglický název

Multiway fluid valve

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Vícecestný kapalinový ventil určen pro výrobní postupy vyžadující časté střídání procesních kapalin například v mikroelektronice a elektrochemi a MEMS technologiích. Je konstruován se zvýšenou chemickou odolností na bázi teflonových a silikových prvků s kapaciou až 22 vstupních portů. Ventil pracuje na principu karuselového selektroru se servomotorem řízeným pomocí elektromagneického čidla s přesnotí 10um.

Abstrakt aglicky

Multiway fluid valve intended for production processes that require frequent changes of process liquids such as in microelectronics and elektrochemi and MEMS technologies. It is constructed with increased chemical resistance on the basis of non-stick and silikových elements with kapaciou to 22 of the input ports. The valve works on the principle of Rotary servo motor controlled with selektroru using elektromagneického sensor with přesnotí 10um size.

Klíčová slova

valve, electrochemistry, nanostructures, deposition

Klíčová slova anglicky

valve, electrochemistry, nanostructures, deposition

Umístění

Laboratoře LabSenNano. N0.66, Technická 10, Brno

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=127