Mechanické uchycení měřící hlavy rastrovacích mikroskopů

Mechanical design of the measuring head of Scanning Probe Microscopy

Užitný vzor

Hlava mikroskopu tvaru písmene U je uložena na třech dosedacích kuličkách. Ty jsou v bodovém kontaktu se základovou rovinou mikroskopu, po které se může hlava volně pohybovat. Pohyb je umožněn pomocí makroposuvů, se kterými je hlava propojena pomocí tenké kovové planžety. Planžeta je dokonale tuhá v horizontálních osách, ve kterých je pohyb přesně definovaný. Ve vertikální ose je planžeta pružná. Přenos vibrací mezi motory a hlavou mikroskopu je díky pružnému spojení ve vertikální ose omezen. Hlava mikroskopu je z důvodu zvýšení celkové tuhosti předepjata vůči rámu mikroskopu pomocí dvou kuliček.

Measuring head (component where the probe is situated) is an important part of the scanning probe microscopes (SPM), especially of the atomic force microscopy (AFM). These microscopes provide a three-dimensional surface imagining and the resulting image consists of pixel composition. Each pixel of this composition represents a point on the sample surface measured (scanned) with the microscope probe. It is obvious, there must be a motion between the probe and the sample to obtain the image of the whole sample surface. The scanning motion is provided due to piezo-scanner (nano- and micrometer scale) and the adjustment of the probe position above the sample is done by piezo-motors (micro- and millimeter scale). These probe positioning piezo-motors are the source of unwanted vibration which affects the measuring accuracy negatively.

AFM, SPM, hlava

AFM, SPM, measurments head

29357

18.02.2016

12.04.2016

Vysoké učení technické v Brně

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence