Detail aplikovaného výsledku

Vláknový interferometr

ŠULC, D.; WERTHEIMER, P.; NOVÁČEK, Z.

Originální název

Vláknový interferometr

Anglický název

Fiber interferometer

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Zařízení umožňuje měřit změny polohy s rozlišením 1 nm s rozsahem do 1 mm. Vzdálenost je měřena pomocí červeného He-Ne laseru zavedeného do optického vlákna. Konec optického vlákna musí být umístěn v rozsahu interferometru a kolmo k odrazné měřené ploše. Zařízení slouží pro účely testování piezokeramických prvků mikroskopů SPM a k měření výchylky raménka AFM. Součástí zařízení je vláknový dělič svazku (optocoupler) v poměru 99:1 s konektory typu FC/APC pro připojení laseru a detekční větve, dále je součástí detekční fotodioda a elektronický obvod pro zpracování signálu fotodiody (zesilovač).

Abstrakt aglicky

The device is capable of a displacement measurement down to 1 nm resolution in the range of 1 mm. The displacement is measured by red He-Ne gas laser guided into an optical fiber. The end of optical fiber has to be mount in the interferometer range and perpendicular to the measured surface. The device is used for the calibration of piezoceramic components in SPM and for the displacement measurements of AFM cantilevers. The interferometer consits of optical fiber optocoupler (ratio 99:1, with FC/APC connectors for connecting the laser and detecting branch of interferometer), detecting photodiode with amplifier for photodiode signal processing.

Klíčová slova

Fiber interferometer, AFM, SPM, piezoceramic components

Klíčová slova anglicky

Fiber interferometer, AFM, SPM, piezoceramic components

Umístění

FSI VUT v Brně, A2/518

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

www