Detail aplikovaného výsledku

Membrána miniaturního bolometru se zvýšenou absorpcí

NEUŽIL, P.; HUBÁLEK, J.

Originální název

Membrána miniaturního bolometru se zvýšenou absorpcí

Anglický název

Miniature bolometer membrane with increased absorption

Druh

Užitný vzor

Originální abstrakt

Podstatou nového řešení je, že na membráně je vytvořena z těsně vedle sebe vertikálně umístěných uhlíkových nanotrubic absorpční vrstva o tloušťce v rozmezí 1 μm až 25 μm. Tyto nanotrubice mohou být jednostěnné nebo multistěnné. Protože se růst nanotrubic provádí na mikrobolometrech, které jsou tepelně izolované, jejich ohřevem se automaticky nebude ohřívat substrát, respektive se bude ohřívat jen marginálně. Hlavní výhodou oproti obvyklým způsobům je, že se zde využívají vertikálně uspořádané uhlíkové nanotrubice, které dohromady tvoří absolutně černé těleso. Ve srovnání se známými technikami pro zvyšování absorpce záření uvedené řešení zajišťuje necitlivost vytvořeného miniaturního bolometru na vlnové délce absorbovaného záření.

Anglický abstrakt

The essence of the new solution is that the membrane is formed of closely adjacent vertically spaced carbon nanotubes absorbent layer having a thickness in the range of 1 micron to 25 microns. These nanotubes can be single-walled or multistěnné. Because the growth of nanotubes carried on the microbolometer, which are thermally insulated, the heater will automatically heat the substrate will be heated or only marginally. The major advantage over conventional methods is that they are used vertically aligned carbon nanotubes, which together form a black body. Compared with known techniques for increasing the absorption of radiation, this solution ensures insensitivity miniature bolometer formed on the wavelength of the absorbed radiation. (machined translation)

Klíčová slova

bolometr, MEMS, teplotní senzor, uhlíkové nanotrubice

Klíčová slova v angličtině

bolometer, MEMS, temperature sensor, carbon nanotubes

Číslo patentu

28484

Datum přihlášky

23.04.2015

Datum zápisu

16.07.2015

Vlastník

Vysoké učení technické v Brně

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

URL