Způsob depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků a zařízení k provádění tohoto způsobu

Deposition method of chip microelectrodes distributed on a board using chemical solutions and apparatus for making the same.

Patent

Způsob depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků, spočívá v tom, že se deska upevní na stůl polohovacího zařízení opatřeného aplikační hubicí, která se zavede nad zvolenou elektrodu prvního čipu, přitlačí se k desce, následně se do hubice přivádí depoziční roztok, který působí na zvolenou elektrodu, a průběžně se z hubice odvádí. Po zastavení přívodu depozičního roztoku do hubice a odsátí zbytkového roztoku se hubice zvedne a přemístí nad další elektrodu sousedního čipu a postup se opakuje.

The deposition method of chip microelectrodes distributed on a board using chemical solutions according to the present invention is characterized in that a board is fastened onto a table of a positioning device provided with an application nozzle, which is situated above the selected electrode of the first chip, and pressed to the board. Subsequently, deposition solution, acting on the selected electrode, is supplied into the nozzle, and continuously withdrawn therefrom. After stopping the flow of the deposition solution into the nozzle and sucking off the residual solution, the nozzle is lifted and transferred above the next electrode of the adjacent chip, and the above-described process is repeated.

mikroelektrody, nanostruktury, pole, postprocesing

microelectrodes, nanostructures, array, postprocessing, anodization, electroplating

305166

09.11.2009

15.04.2015

Vysoké učení technické v Brně

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/305/305166.pdf