Detail publikace

Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm

ZMRZLÝ, M.

Originální název

Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm

Anglický název

Chemical analysis of structure of coatings with resolution of 170 nm

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Souhrn výhod měření EDS spekter pomocí FEG SEM. Jsou prezentovány možnosti zmenšení interakčního objemu, úpravy kalibrace a plazmatické dekontaminace.

Anglický abstrakt

Summary of advantages of EDS measurement with use of FEG SEM. Interaction volume decreasing, plasma decontamination and adjustement of calibration are discussed.

Klíčová slova

FEG, EDS analysis

Klíčová slova v angličtině

FEG, EDS analysis

Autoři

ZMRZLÝ, M.

Rok RIV

2014

Vydáno

4. 2. 2014

Nakladatel

ČSPÚ

Místo

Jihlava

ISBN

978-80-905648-0-0

Kniha

Sborník přednášek

Strany od

34

Strany do

35

Strany počet

149

BibTex

@inproceedings{BUT106341,
  author="Martin {Zmrzlý}",
  title="Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm",
  booktitle="Sborník přednášek",
  year="2014",
  pages="34--35",
  publisher="ČSPÚ",
  address="Jihlava",
  isbn="978-80-905648-0-0"
}