Detail projektu

Advanced metrology for optical lithography and microscopy

Období řešení: 1.1.2019 — 31.12.2022

Zdroje financování

Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1

Označení

TN01000008/05

Originální jazyk

angličtina

Řešitelé

Dostál Zbyněk, Ing., Ph.D. - spoluřešitel

Útvary

NCK - Centrum elektronové a fotonové optiky
- odpovědné pracoviště (27.8.2020 - nezadáno)
Středoevropský technologický institut VUT
- odpovědné pracoviště (6.3.2019 - 27.8.2020)
NCK - Centrum elektronové a fotonové optiky
- příjemce (1.1.2019 - 31.12.2020)

Výsledky

DOSTÁL, Z.: Testovací lavice pro měření vlnoplochy po průchodu optického elementu. (Funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.; ANTOŠ, M.: Opto-mechanická sestava využívající DMD pro skenování vzorku při konfokálním zobrazení. (Funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.: Funkční vzorek testovací lavice pro vysokorychlostní detekci směru odraženého světla. (Funkční vzorek)
Detail

Odpovědnost: Vojkůvková Alena, Mgr.