This project was co-financed with state support of the CR Technological Agency as part of Národní centra kompetence 1
www.tacr.cz
Research useful for society.

Project detail

Advanced metrology for optical lithography and microscopy

Duration: 1.1.2019 — 31.12.2022

Funding resources

Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1

Mark

TN01000008/05

Default language

English

People responsible

Dostál Zbyněk, Ing., Ph.D. - fellow researcher

Units

Center of Electron and Photon optics
- responsible department (27.8.2020 - not assigned)
Central European Institute of Technology BUT
- responsible department (6.3.2019 - 27.8.2020)
Center of Electron and Photon optics
- beneficiary (1.1.2019 - 31.12.2020)

Results

DOSTÁL, Z.: Testovací lavice pro měření vlnoplochy po průchodu optického elementu. (Funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.; ANTOŠ, M.: Opto-mechanická sestava využívající DMD pro skenování vzorku při konfokálním zobrazení. (Funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.: Funkční vzorek testovací lavice pro vysokorychlostní detekci směru odraženého světla. (Funkční vzorek)
Detail

Responsibility: Vojkůvková Alena, Mgr.