Zařízení na analýzu křemíkových desek

Device for silicon wafer analysis

Funkční vzorek

Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).

Device consists of motorized microscope XY-manipulator and control electronics. The electronics controls motors and positions silicon wafer with micrometer precision. It enables taking photos of whole silicon wafer surface. Software analyse photos of silicon wafer surface and detects number and position of defects (OISF).

zařízení; křemíkové desky; defekty; vrstevné chyby; manipulator; analýza obrazu

device; silicon wafer; defects; manipulator; image processing

On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm

výsledek využívá pouze poskytovatel

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)