Detail aplikovaného výsledku

Zařízení pro anodické pájení

PEKÁREK, J.; PAVLÍK, M.; VLACH, R.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; HÁZE, J.; MAREČEK, K.

Originální název

Zařízení pro anodické pájení

Anglický název

Anodic bonding device

Druh

Užitný vzor

Originální abstrakt

Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.

Anglický abstrakt

Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.

Klíčová slova

anodické pájení, MEMS

Klíčová slova v angličtině

anodic bonding, MEMS

Číslo patentu

22520

Datum přihlášky

02.06.2011

Datum zápisu

25.07.2011

Vlastník

Vysoké učení technické v Brně, Brno, CZ , BD SENSORS, s. r. o., Buchlovice, CZ

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

URL

http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0022/uv022520.pdf