Ionizační detektor s elektrostatickým separátorem (ISEDS)

Ionisation Secondary Electron Detektor with Separator (ISEDS)

Patent

Základní filozofií Ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.

The basic philosophy of the ionisation detector of secondary electrons with electrostatic separator (ISEDS), is to optimize the physical principle of the detection of signal electrons in high pressure conditions of VP SEM in order to achieve a higher purity of the secondary electrons signal with a minimal contribution of backscattered electrons. Suitably situated electrostatic fields of separator of ISEDS, placed mainly above and around observed sample, efficiently filter away the high energy BSEs and enable to detect low energy SEs with high selectivity.

ISEDS, sekundární elektrony, VP SEM

ISEDS, secondary electrons, VP SEM.

299864

17.06.2009

20.01.2010

UPT AVČR, v.v.i

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence