Detail aplikovaného výsledku

Zařízení pro anodické pájení

HÁZE, J.; PAVLÍK, M.; PEKÁREK, J.; VRBA, R.; VLACH, R.; MAGÁT, M.

Originální název

Zařízení pro anodické pájení

Anglický název

Anodic bonding device

Druh

Prototyp

Abstrakt

Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.

Abstrakt aglicky

Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.

Klíčová slova

anodic bonding, MEMS

Klíčová slova anglicky

anodic bonding, MEMS

Umístění

Technická 10 - 0.67

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)