Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

Differentially evacuated chamber of the vacuum system of ESEM

Funkční vzorek

Přítomnost vysokého tlaku plynů (až 2000Pa) v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu vytváří specifické nároky na konstrukci mikroskopu a jeho čerpací systém. Jednotlivé konstrukční části EREM, zejména samostatně čerpaná komora mezi tubusem a komorou vzorku mikroskopu, musí být navrženy tak, aby vyhověly náročným požadavkům na účinné čerpání jejich vnitřního prostoru a minimalizaci tlaku v něm. Relativní technologická náročnost tohoto mikroskopu je však více než kompenzována širokou škálou možností jeho využití a to ať již v módu vakua, nebo v módu vysokého tlaku. Značnou tlakovou diferenci, vznikající mezi komorou vzorku (3-1000Pa) a prostorem zdroje elektronů (0.001 - 10-9Pa, podle typu katody) VP-SEM, lze udržet díky systému diferenciálně čerpaných komor, tlak omezujících clon (PLA1 a PLA2) a účinnému systému čerpání plynu. Clony jsou opatřeny otvory s průměrem řádově desítek až stovek mikrometrů a umožňují účinné omezení proudění plynů mezi jednotlivými částmi mikroskopu a současně dovolují průchod elektronů od jejich zdroje až na vzorek. Systém těchto komor a tlak omezujících clon je nejčastěji integrován v tubusu EREM. Mikroskop je zpravidla čerpán soustavou rotačních, difúzních či turbomolekulárních vývěv (prostor komory vzorku a s ním těsně sousedící diferenciálně čerpané komory), popřípadě iontových vývěv (prostor zdroje elektronů).

High pressure of gases (up to 2000 Pa) in the specimen chamber of the environmental scanning electron microscope leads to specific construction requirements for the microscope and its pumping system. Construction parts of the microscope, especially separately pumped chamber between the optical column and the specimen chamber, must be designed in such a way so that they meet the requirements on efficient evaporation and pressure minimization in this chamber.

Differentialy pumped chamber of ESEM, electron microscopy

Differentialy pumped chamber of ESEM, electron microscopy

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

výsledek využívá pouze poskytovatel

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

http://www.uete.feec.vutbr.cz