Detail aplikovaného výsledku

UHV rotační piezo posuv

NOVÁČEK, Z.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.; KALOUSEK, R.; ZLÁMAL, J.

Originální název

Anglický název

UHV rotational piezo actuator

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Počítačem ovládaný krokový rotační posuv ve 3 osách. Nastavení rychlosti posuvu a volba velikosti úhlového kroku. Systém navržený pro UHV podmínky.

Abstrakt anglicky

Computer controlled three axes rotary actuator. Customizable speed and angle step size. System designed for UHV condition.

Klíčová slova

Piezo motor; 3-osý pohyb; UHV AFM; zaměřování laserového svazku

Klíčová slova anglicky

Piezo actuator; 3-axes motion; UHV AFM; laser beam alignment

Umístění

A2/518

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

www

VUT