Wienův filtr - zařízení pro hmotnostní selekci iontových svazků

Wien filter - apparatus for mass selection of ion beams

Funkční vzorek

Zařízení sestává z elektromagnetického obvodu, který uvnitř vakuové trubice, umístěné na dráze iotového svazku, vytváří zkřížené homogenní elektrické a magnetické pole. Vhodným nastavením intenzity elektrického pole a magnetického pole permanentního magnetu lze separovat nežádoucí nečistoty z iontového svazku (především kyslík a uhlík). Zařízení lze provozovat na plovoucím potenciálu. Napětí na elektrodách je řízeno počítačem pomocí vlastního software.

The apparatus consists of the electromagnetic circuit generating crossed homogenous electric and magnetic field inside of the vacuum tube implemented into an ion trajectory. By the proper setting of the electric field intensity and magnetic field of the permanent magnet the undesirable impurities from the ion beam can be selected (oxygen and carbon, above all). Voltages applied on electrodes are controlled using proprietary software.

mass filter, mass selection, ion beams, impurities, thin films

mass filter, mass selection, ion beams, impurities, thin films

A2/518

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

http://www.physics.fme.vutbr.cz/