Detail aplikovaného výsledku

Zobrazovací in situ reflektometr

SPOUSTA, J.; URBÁNEK, M.; ŠIKOLA, T.; CHMELÍK, R.

Originální název

Zobrazovací in situ reflektometr

Anglický název

Imaging Reflectometer

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Monitorování plošné homogenity optických vlastností tenkých vrstev.

Abstrakt anglicky

Optical device for monitoring of surface homogeneity of thin films

Klíčová slova

tenké vrstvy, in situ analýza, optické vlastnosti, reflektometr

Klíčová slova anglicky

thin films, in situ analysis, optical properties, reflectometer

Umístění

A2/518

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence