Detail publikačního výsledku

Diagnostics and optimization of ion source parameters

VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P.

Originální název

Diagnostics and optimization of ion source parameters

Anglický název

Diagnostics and optimization of ion source parameters

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

This contribution deals with diagnostics and consequent optimization of plasmatic ion source. Ion-beam current density and ion current loss measurements are determined with the attempt of improving ion-beam transportation characteristics.

Anglický abstrakt

This contribution deals with diagnostics and consequent optimization of plasmatic ion source. Ion-beam current density and ion current loss measurements are determined with the attempt of improving ion-beam transportation characteristics.

Klíčová slova v angličtině

ion source, optimization, thin film deposition

Autoři

VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P.

Rok RIV

2011

Vydáno

15.11.2001

Nakladatel

FEI VUT v Brně

Místo

Brno

ISBN

80-214-1992-X

Kniha

Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice

Strany od

304

Strany počet

6

BibTex

@inproceedings{BUT6510,
  author="Stanislav {Voborný} and Tomáš {Šikola} and Stanislav {Průša} and Jakub {Zlámal} and Petr {Bábor}",
  title="Diagnostics and optimization of ion source parameters",
  booktitle="Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice",
  year="2001",
  pages="6",
  publisher="FEI VUT v Brně",
  address="Brno",
  isbn="80-214-1992-X"
}