Detail publikačního výsledku

Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS

BÁBOR, P.

Originální název

Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS

Anglický název

A SIMS anlysis of solid surfaces

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

Hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS) je založena na bombardování povrchu pevné látky ionty. Dopad iontů s danou energií do povrchové vrstvy způsobuje odprašování částic z tohoto prostoru. Primární ionty jsou implantovány do pevné látky, nebo se odráží od povrchu. Některé uvolněné částice, především atomy, ale i molekuly a shluky atomů (clustery), jsou ionizovány, což umožní jejich identifikaci hmotnostním analyzátorem. Hmotnostní spektrum sekundárních iontů nám poskytuje informaci o prvkovém složení povrchu.

Anglický abstrakt

SIMS - Secundary Ion Mass Spectroscopy is a tool for chemical analysis of solid surfaces. Incident ion beam is sputering parcicles from solid surface. Some of that atoms (molecules, clusters) are ionized, so we cas analize them by mass spectromery.

Klíčová slova v angličtině

SIMS

Autoři

BÁBOR, P.

Rok RIV

2011

Vydáno

19.09.2001

Nakladatel

Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně

Místo

Brno

Kniha

Juniormat '01 sborník

Strany od

131

Strany počet

3

BibTex

@inproceedings{BUT3357,
  author="Petr {Bábor}",
  title="Analýza povrchů tenkých vrstev metodou SIMS",
  booktitle="Juniormat '01 sborník",
  year="2001",
  pages="3",
  publisher="Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně",
  address="Brno"
}