Detail publikačního výsledku

Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie

TOMÁNEK, P.

Originální název

Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie

Anglický název

Nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

Článek přináší přehled nanotechnologických přístupů, nanoelektroniky a aplikace optické nanometrologie na studium nanostruktur.

Anglický abstrakt

The paper brings an overview of nanotechological approaches, nanoelectronics and applications of optical nanometrology on the investigation of semiconductor structures.

Klíčová slova

nanometrologie, nanoelektronika, optická nanometrologie, aplikace

Klíčová slova v angličtině

nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology, applications

Autoři

TOMÁNEK, P.

Vydáno

20.12.2000

Nakladatel

Ing. Zdeněk Novotný, CSc.

Místo

Brno

ISBN

80-214-1781-1

Kniha

20 let Ústavu mikroelektroniky FEI VUT v Brně

Strany od

68

Strany počet

9

BibTex

@inproceedings{BUT3323,
  author="Pavel {Tománek}",
  title="Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie",
  booktitle="20 let Ústavu mikroelektroniky FEI VUT v Brně",
  year="2000",
  pages="9",
  publisher="Ing. Zdeněk Novotný, CSc.",
  address="Brno",
  isbn="80-214-1781-1"
}