Detail publikačního výsledku

Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie

BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J.

Originální název

Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie

Anglický název

Fabrication of plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography

Druh

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Originální abstrakt

Výroba plasmonických nanoantén s rezonančními frekvencemi ve viditelné oblasti pomocí elektronové litografie mnohdy přináší nutnost expozice nevodivých substrátů. Tato práce je zaměřena na porovnání výsledků dosažitelných konvenčním přístupem za použití vodivých polymerů a alternativního postupu v podobě litografie za variabilního tlaku (VP-EBL). Dále je testována stabilita VP-EBL procesu pro dlouhodobé expozice.

Anglický abstrakt

Fabrication of plasmonic nanoantennas with resonance frequencies in visible range is often challenging due to the necessity of exposure of non-conductive substrates. This work is focussed in comparism of conventionl fabrication approach using conductive polymer layers and alternative variable pressure electron beam lithography (VP-EBL) method. We have also studied the stability of VP-EBL process for long exposures.

Klíčová slova

plasmonika, plasmonické antény, elektronová litografie, elektronová mikroskopie nevodivých vzorků, spektroskopie

Klíčová slova v angličtině

plasmonics, plasmonic nanoantennas, electron beam lithography, scanning electron microscopy of non-conductive samples, spectroscopy

Autoři

BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J.

Rok RIV

2017

Vydáno

01.06.2016

ISSN

0447-6441

Periodikum

Jemná mechanika a optika

Svazek

61

Číslo

6

Stát

Česká republika

Strany od

157

Strany do

159

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT128331,
  author="Jiří {Babocký} and Jan {Bok} and Tomáš {Šikola} and Jiří {Fiala}",
  title="Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  pages="157--159",
  issn="0447-6441"
}