Detail publikačního výsledku

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

ČECHAL, J., TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., BONAVENTUROVÁ - ZRZAVECKÁ, O., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., ŠIKOLA, T.

Originální název

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

Anglický název

In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

Degradation of PMPSi under temperature and UV light uder UHV conditions studied by XPS and spectroscopic ellipsometry.

Anglický abstrakt

Degradation of PMPSi under temperature and UV light uder UHV conditions studied by XPS and spectroscopic ellipsometry.

Klíčová slova v angličtině

XPS, PMPSi, spectroscopic ellipsometry

Autoři

ČECHAL, J., TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., BONAVENTUROVÁ - ZRZAVECKÁ, O., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2011

Vydáno

06.10.2003

Nakladatel

ECASIA

Místo

Berlin

Kniha

ECASIA 10 Book of Abstracts

Strany od

226

Strany počet

1

BibTex

@inproceedings{BUT11096,
  author="Jan {Čechal} and Petr {Tichopádek} and Alois {Nebojsa} and Olga {Bonaventurová - Zrzavecká} and Michal {Urbánek} and Karel {Navrátil} and Tomáš {Šikola}",
  title="In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS",
  booktitle="ECASIA 10 Book of Abstracts",
  year="2003",
  pages="1",
  publisher="ECASIA",
  address="Berlin"
}