Detail publikačního výsledku

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., FIEDOR, M., CHMELÍK, R., BUČEK, M., ŠIKOLA, T.

Originální název

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

Anglický název

Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

A system for large area thin film homognity diagnostics by spectroscopic reflectometry.

Anglický abstrakt

A system for large area thin film homognity diagnostics by spectroscopic reflectometry.

Klíčová slova v angličtině

Thin Films, Reflectometry, Interferometry

Autoři

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., FIEDOR, M., CHMELÍK, R., BUČEK, M., ŠIKOLA, T.

Rok RIV

2011

Vydáno

06.10.2003

Nakladatel

ECASIA

Místo

Berlin

Kniha

ECASIA '03 Book of abstracts

Strany od

284

Strany počet

1

BibTex

@inproceedings{BUT11095,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Marián {Fiedor} and Radim {Chmelík} and Miroslav {Buček} and Tomáš {Šikola}",
  title="Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry",
  booktitle="ECASIA '03 Book of abstracts",
  year="2003",
  pages="1",
  publisher="ECASIA",
  address="Berlin"
}