Detail publikačního výsledku

Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.

WANDROL, P.

Originální název

Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.

Anglický název

Detection of backscattered electrons in low energy part of the electron beam spectrum in SEM.

Druh

Stať ve sborníku v databázi WoS či Scopus

Originální abstrakt

Práce je zaměřena především na výzkum detektoru pro společnou i oddělenou detekci zpětně odražených elektronů (BSE) a sekundární elektronů (SE) v rastrovacím elektronovém mikroskopu za podmínek, kdy energie primárního svazku dopadajícího na vzorek činí 1 keV a méně.

Anglický abstrakt

This paper deals with the development of the detector for low energy backscattered electrons detection in low voltage scanning electron microscope.

Klíčová slova

zpětně odražené elektrony, nízkonapěťová SEM

Klíčová slova v angličtině

backscattered electrons, low voltage SEM

Autoři

WANDROL, P.

Vydáno

01.01.2004

Místo

Brno

ISBN

80-239-2268-8

Kniha

PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení elektronové optiky

Strany od

61

Strany počet

4

BibTex

@inproceedings{BUT11029,
  author="Petr {Wandrol}",
  title="Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.",
  booktitle="PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení elektronové optiky",
  year="2004",
  number="1",
  pages="4",
  address="Brno",
  isbn="80-239-2268-8"
}