Tento projekt se zaměřuje na vývoj přenosného magnetronového systému pro naprašování stříbra na vnitřní povrchy hliníkových trubek. Cílem je dosáhnout vyšší kvality adheze a homogenní vrstvy stříbra ve srovnání s galvanickými metodami, což zlepší mechanické a elektrické spojení na rozhraní hliník-stříbro. Klíčovou součástí systému bude integrovaný plazmový systém pro odstranění oxidu hlinitého, který přirozeně vzniká na povrchu trubek. Tento oxid snižuje kvalitu spojení a jeho odstranění pomocí plazmatu zlepší adhezi a kvalitu stříbrné vrstvy, aniž by bylo nutné využívat toxické chemikálie, jak je tomu u tradičních metod mokrého leptání. Navrhovaný systém bude kompaktní, snadno přenosný a flexibilní, což umožní jeho nasazení v různých výrobních podmínkách, včetně průmyslových provozů. Dalším přínosem je, že proces magnetronového naprašování umožňuje lepší kontrolu nad tloušťkou a kvalitou výsledné vrstvy ve srovnání s galvanickými metodami. I když je rychlost depozice nižší, výsledná kvalita vrstvy je vyšší, což je klíčové pro aplikace, kde je důležitá dlouhá životnost a stabilita elektrických parametrů.

TS02020256

čeština

Gablech Imrich, Ing., Ph.D. - hlavní řešitel
Brodský Jan, Ing. - spoluřešitel
Neužil Pavel, prof. Ing., Dr., DSc. - spoluřešitel

Ústav mikroelektroniky
- odpovědné pracoviště (21.10.2024 - nezadáno)
Ústav mikroelektroniky
- příjemce (21.10.2024 - nezadáno)

Odpovědnost: Gablech Imrich, Ing., Ph.D.