Práce se zabývá problematikou přípravy mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metod. První kapitola je tvořena rešeršní studií, ve které jsou popsány základní principy a aplikace suchého či mokrého leptání. Zároveň jsou zde uvedeny metody dostupné v laboratořích Ústavu fyzikálního inženýrství. Přípravě leptacích masek pomocí elektronové litografie je věnována pozornost v druhé kapitole. Následující kapitola je zaměřena na vlastní experimenty prováděné v zázemí ÚFI. Je zde popsána optimalizace přípravy dvou typů masek pomocí EBL a následně i samotného selektivního suchého, resp. mokrého leptání. V závěru jsou vyhodnoceny a porovnány vlastnosti použitých typů leptání a vliv jejich výběru na tvar výsledné struktury, úroveň podleptání masky, apod. Dosažené výsledky budou užitečné nejen pro studentovo navazující studium, ale i pro další studenty a spolupracovníky z Ústavu fyzikálního inženýrství. Vzhledem k pracovitosti studenta a jeho velmi zajímavým dosaženým výsledkům, navrhuji ohodnotit jeho práci stupněm A.

Předložená bakalářská práce pana Jana Těšíka se zabývá přípravou mikro- a nanostruktur pomocí různých leptacích metod.
Práce je přehledně rozdělena do tří částí, které reflektují jednotlivé cíle zadání. První částí je rešeršní studie, kde autor přehledně klasifikuje a poté podrobněji popisuje jednotlivé leptací procesy. Obsah této části s poměrně velkým množství citací poukazuje na autorův dobrý přehled o studované problematice. V druhé kapitole je čtenář stručně seznámen s principy přípravy leptacích masek pomocí elektronové litografie. Vlastní výsledky v experimentální části jsou popsány poměrně dobře. Autor se při jejich získání musel seznámit s řadou nejrůznějších technik použitých při přípravě i následné analýze vzorků (elektronová a iontová litografie, iontové naprašování a leptání, chemické leptání, elektronová mikroskopie a mikroskopie atomárních sil). Velký počet testovaných leptacích postupů vypovídá o pracovitosti autora. Zde ovšem musím vytknout jistou nepřehlednost této části, kdy autor ukazuje řadu výsledků (6 stran na konci kapitoly) pouze ve formě snímků z elektronového mikroskopu s málo vypovídajícím popiskem pod obrázkem. Pro čtenáře je velmi obtížné sledovat, jaké experimenty byly provedeny a jaké závěry byly učiněny. Přesunutí části informací ze závěru přímo do kapitoly s experimenty by přehlednosti práce velmi pomohlo.
Po formální stránce je práce zpracována velmi pečlivě, jazyková úroveň je velmi dobrá a množství překlepů minimální. Otázky k obhajobě:

1. V grafu 3.2 na straně 30 argumentujete, že výrazný skok v leptací rychlosti pro hodnotu urychlovací energie 120 eV je nejpravděpodobněji způsoben chybou měření. Chybové úsečky jsou ale stejné jako pro všechny další hodnoty urychlovacích energií. Jednalo se o systematickou chybu? Jakým způsobem byly určeny chybové úsečky?