bakalářská práce

Srovnání zobrazovacích možností transmisního a rastrovacího elektronového mikroskopu

Text práce 7.33 MB

Autor práce: Ing. Tadeáš Maňka, Ph.D.

Ak. rok: 2013/2014

Vedoucí: doc. Ing. Jakub Zlámal, Ph.D.

Oponent: Ing. Mgr. Tomáš Šamořil, Ph.D.

Abstrakt:

Cílem této bakalářské práce je srovnání zobrazovacích možností transmisního a rastrovacího elektronového mikroskopu. Teoretická část se zabývá popisem konstrukce a vysvětlením principu každého typu mikroskopu. Dále je sestaven přehled  používaných detektorů signálu a popsán princip získávání obrazu. Prostor je věnován i vzorkům a jejich přípravě.
Praktická část je věnována porovnání zobrazovacích možností obou mikroskopů. Ke srovnání byly použity standardní kalibrační vzorky. Jsou zmíněny výhody a nevýhody obou mikroskopů.

Klíčová slova:

Elektronová mikroskopie, detektor, tvorba obrazu.

Termín obhajoby

26.06.2014

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaCznamka

Klasifikace

C

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Fakulta strojního inženýrství

Ústav

Ústav fyzikálního inženýrství

Studijní program

Strojírenství (B3S-P)

Studijní obor

Strojní inženýrství (B-STI)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
doc. Ing. Jakub Zlámal, Ph.D.

Student se věnoval problematice, která pro něj byla zcela nová. Pracoval velmi samostatně, seznámil se s funkcí elektronových mikroskopů a jejich jednotlivých částí. Porozuměl funkci detektorů získávaných signálů.

V praktické části se věnoval pozorování kalibračních vzorků v transmisním a rastrovacím elektronovém mikroskopu pod vedením pracovníků firmy FEI. K zobrazení vzorků použil detektory dostupné v těchto mikroskopech. Vzhledem k omezení rozsahu práce uvedl jen vybrané výsledky, které však dobře vystihují vlastnosti jednotlivých detektorů.

Práci doporučuji k obhajobě.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod B
Vlastní přínos a originalita C
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry C
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací B
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: B

Posudek oponenta
Ing. Mgr. Tomáš Šamořil, Ph.D.

Student Tadeáš Maňka se v rámci bakalářské práce zabýval srovnáním vlastností transmisního a rastrovacího elektronového mikroskopu. V prvních kapitolách práce je stručně, ale výstižně popsán princip a složení rastrovacího elektronového mikroskopu. Dále je popsán přehled používaných detektorů, jejich princip a využití. V experimentální části je pozornost zaměřena na studium komerčních kalibračních vzorků různého materiálového složení a s různými geometrickými tvary. Tyto vzorky jsou nejprve postupně (až na jeden) zobrazovány pomocí TEM i STEM až na úroveň atomárního rozlišení. Přitom je dle vhodnosti použito několik rozdílných typů detektorů. Obdobně jsou tyto vzorky zkoumány pomocí SEM jak ve standardním (detekce SE, BSE), tak i v transmisním módu (STEM). Student svými výsledky přímo poukazuje na rozdíly v možnostech zobrazení při použití TEM, STEM a SEM. Zároveň vyzdvihuje vzájemné výhody a nevýhody těchto mikroskopů. Prezentované výsledky jsou vhodné pro získání základních představ o možnostech elektronové mikroskopie.
Bakalářská práce splňuje zadání. Je vypracována přehledně s logickým uspořádáním a psána, až na několik gramatických chyb, velmi dobrou češtinou. Na druhou stranu se neopírá o velký rozsah odborné literatury, neobsahuje v textu odkazy na všechny obrázky. U některých z nich není navíc zvolen vhodný formát popisu. Práci hodnotím stupněm B.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita C
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací B
Otázky k obhajobě:
  1. Jaké jsou možnosti eliminace nabíjení nevodivých vzorků v SEM?
  2. Jaká je konstrukce a princip získávání elektronů u Schottkyho katody?

Známka navržená oponentem: B

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová