bakalářská práce

Pasivace povrchu germania metodou ALD

Text práce 8.3 MB

Autor práce: Ing. Jakub Kuba

Ak. rok: 2013/2014

Vedoucí: prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.

Oponent: Ing. Josef Polčák, Ph.D.

Abstrakt:

Práce se zabývá pasivací povrchu germania pomocí chemického leptání a metodou depozice atomárních vrstev (ALD). Sledována byla především rychlost oxidace povrchu germania a zastoupení jednotlivých oxidů germania po použití vybraných metod pasivace. Součástí práce je rešerše odstraňování nativních oxidů germania a stručný popis použitých metod využívaných pro analýzu (XPS) a depozici tenkých vrstev (ALD).

Klíčová slova:

Germanium, Ge, pasivace, nativní oxidy, rentgenová fotoelektronová spektroskopie, systém pro depozici atomárních vrstev.

Termín obhajoby

25.06.2014

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Jakub Kuba se přes počáteční obavy v poměrně krátkém čase naučil pracovat s ultravakuovou aparaturou a byl tak záhy schopen samostatně provádět skoro všechny experimenty související s řešením zadání jeho bakalářské práce. Velmi dobře zpracoval rešeršní studii pasivace povrchu germania. Pracoval svědomitě, prokázal schopnost plánovat experimenty a také z nich vyvozovat korektní závěry. Bakalářská práce ukazuje velmi dobrou schopnost studenta prezentovat dosažené výsledky.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita B
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii B
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Student ve své práci provedl rešerši metod na odstranění nativního oxidu germania a jeho následnou pasivaci, která chrání substrát před další oxidací. Dále experimentálně ověřil, jak jsou tyto metody účinné při odstranění nativního oxidu germania a zdali jsou schopny ochránit substrát do doby, než je na nich vytvořena pasivační vrstva.
Student si osvojil práci se zařízením XPS pro chemickou analýzu vzorků a vyhodnocení spekter získaných touto metodou. Dále si osvojil práci se zařízením ALD a vyzkoušel, zdali jsou vrstvy oxidů SiO2 a Al2O3 vytvořené touto metodou vhodné pro pasivaci germania.
Práce je srozumitelně napsána, jednotlivé kapitoly na sebe logicky navazují, snad jen kapitola č. 3 popisující metody odstraňování nativních oxidů mohla být rozdělena na část rešeršní a na  experimenty, jimiž se autor zabýval.
Z mého pohledu student splnil všechny body zadání bakalářské práce a doporučuji tuto práci k veřejné obhajobě.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. Jak byly určeny relativní koncentrace germaniových oxidů z fitovaných XPS spekter? (str. 10 dole “Koncentrace byly zjištěny pomocí fitování spekter z obrázku 3.7a“).
  2. Jaká je běžná tloušťka vrstvy nativních oxidů Ge?

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová