bakalářská práce

Grafenové struktury vhodné pro polem řízené tranzistory

Text práce 8.43 MB

Autor práce: Ing. Markéta Kurfürstová

Ak. rok: 2013/2014

Vedoucí: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Oponent: doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D.

Abstrakt:

Tato bakalářská práce se zabývá přípravou grafenových struktur vhodných pro tranzistory
řízené elektrickým polem. V první části je charakterizován grafen z hlediska jeho vlastností
a metod přípravy. V části druhé je shrnuta polovodičová technika se zaměřením
na tranzistory s grafenovou vrstvou. Následuje popis metody elektronové litografie, která
byla použita při výrobě struktur. Na závěr je popsán experimentální postup přípravy
grafenových struktur.

Klíčová slova:

grafen, tranzistor, FET, elektronová litografie, polovodiče

Termín obhajoby

25.06.2014

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Studentka se v rámci bakalářské práce aktivně podílela na realizaci struktur vhodných pro přípravu polem řízených tranzistorů s vodivou polykrystalickou grafenovou vrstvou. V rámci bakalářské práce byly připraveny grafenové vodivé kanálky pomocí elektronové litografie. Studentka samostatně zvládla proces elektronové litografie. Takto připravené struktury na SiO2 byly měřeny pomocí Ramanovy spektroskopie. Výsledky byly prezentovány ve formě posteru na konferenci International Summer School on Physics at Nanoscale 9th (2014). Studentka se podílela na úspěšném řešení projetu IMPI. Práce studentky byla snaživá a intenzivní. Lze tedy konstatovat, že studentka splnila všechny úkoly zadání, i když nedošlo k realizaci samotného měření struktur. Což bylo způsobenou převážně problém při hledání optimálních podmínek pro elektronovou litografii. Studentka projevovala nadměrný zájem o danou problematiku a při práci si počínala důsledně.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod B
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu B

Známka navržená vedoucím: A

Práce Markéty Kurfürstové je napsána jasnou a srozumitelnou formou. Teoretická část postupně uvozuje do problematiky fyzikálních principů grafenu a polovodičů a je zakončena z mého pohledu velmi zdařilou rešerší FE tranzistorů. V experimentální části jsou přehledně komentovány jednotlivé kroky výrobního postupu. Hledání optimálních parametrů a jejich zdůvodnění je logické, podložené fakty a zdokumentované názornými ukázkami natolik dobře, že práce může významně pomoci všem, kteří by se podobnou problematikou zabývali. V závěru práce bych uvítal jednoznačnější komentář ke splnění/nesplnění dílčích cílů zadání a případné zdůvodnění časové prodlevy. Celkově práci považuji za výbornou.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. Na straně 32, obrázek 4.15 je zobrazena struktura kanálu po druhém litografickém kroku. Můžete prosím vysvětlit, co bylo důvodem změny geometrie elektrod (obrázek 4.15 a) oproti původní geometrii (obrázek 4.12)? Proč by místa neodstraněného rezistu v obrázku 4.15 b bránila ve vytvoření funkčních kontaktů pro měření transportních vlastností kanálu?

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová