bakalářská práce

Návrh aparatury pro VF plasmové leptání

Text práce 5.75 MB

Autor práce: Ing. Stanislav Bárdy

Ak. rok: 2013/2014

Vedoucí: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Oponent: doc. Ing. Petr Bábor, Ph.D.

Abstrakt:

Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy generovania plazmového výboja a návrh VF elektrického obvodu. Praktická časť sa zaoberá samotnou konštrukciou aparatúry a vyrovnávacej jednotky, optickou diagnostikou plazmového výboja a meraním parametrov leptania PMMA (rýchlosť leptania, drsnosť) použitím spektroskopickej reflektometrie a mikroskopie atomárnych síl.

Klíčová slova:

indukčne budená plazma, čistenie grafénu, leptanie PMMA, suché leptanie, vyrovnávanie impedancií

Termín obhajoby

25.06.2014

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Student se v rámci bakalářské práce aktivně podílel na realizaci návrhu komory s VF plazmatickým výbojem. V rámci bakalářské práce byla provedena rešeršní studie čištění grafenových vrstev užitím plazmatu. Byla realizována výbojová plazmatická komora spolu s vyrovnávací jednotkou pro stabilizaci plazmového výboje. VF plazma bylo testováno pro různé výkony a plyny. Dále byla měřena rychlost leptání a vliv výkonu na drsnost krycí PMMA vrstvy. Práce studenta byla intenzivní, samostatná a přesahovala rámec zadání.  Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání, projevoval nadměrný zájem o danou problematiku a při práci si počínal snaživě.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Tato práce pojednává o vývoji a konstrukci aparatury pro tvorbu studeného plazmatu. První část stručně popisuje plazma a různé způsoby tvorby plazmatu s důrazem na problematiku vysokofrekvenčních výkonových obvodů, která byla i prakticky využita při návrhu vyrovnávací jednotky. V další části jsou popsány základní vlastnosti grafenu a možnosti jeho čištění. V této části je uvedena zadaná rešeršní studie čištění grafenu pomocí plazmatického výboje. Třetí část detailně popisuje aparaturu pro indukčně vázané plazma a jsou zde uvedeny i studentem změřené emisní spektra pro různé plyny. V poslední části jsou výsledky měření parametrů leptání PMMA. V závěru je mimo jiné uvedeno, že student provedl konstrukci vyrovnávací jednotky, součástí práce však nejsou konstrukční výkresy. Text práce je srozumitelný a vyvážený z hlediska teoretické, konstrukční a experimentální části. Tato práce prokázala studentovu schopnost řešit danou problematiku a srozumitelně prezentovat dosažené výsledky.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. V emisním spektru plazmatu tvořeného vzduchem nejsou obsaženy charakteristické čáry kyslíku viditelné na obrázku 4.18, přestože kyslík tvoří přibližně 20 % objemu vzduchu. Máte pro to nějaké vysvětlení?
  2. Na str. 24 a 41 je použito spojení „relaxovanější ionty“. Komentujete prosím, co tím bylo myšleno
  3. Na straně 9 jsou pouze uvedeny výhody RF plazmatu oproti DC plazmatu. Uveďte nějaké nevýhody, pokud existují.

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová