bakalářská práce

Návrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomů

Text práce 8.07 MB Příloha 10.52 MB

Autor práce: Ing. Marek Šikula

Ak. rok: 2012/2013

Vedoucí: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Oponent: doc. Ing. Petr Bábor, Ph.D.

Abstrakt:

Pomocí atomárních zdrojů kyslíku se vyrábí a studují ultratenké oxidové vrstvy, především tzv. high-k vrstvy. Ty jsou základem CMOS tranzistorů a DRAM kondenzátorů. Tato práce zpracovává teorii atomárních svazků kyslíku a způsoby jejich získání. Na základě těchto podkladů je vytvořen konstrukční návrh unikátního typu disociačního atomárního zdroje kyslíku. Návrh byl testován jednoduchými experimenty. Dale je vypracován 3D model zdroje a kompletní výkresová dokumentace.

Klíčová slova:

Termální disociace, termální zdroj, iontová vodivost, atomární kyslík, termální svazky atomů kyslíku, ZrO2 keramiky

Termín obhajoby

19.06.2013

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Student se v rámci bakalářské práce aktivně podílel na polemice využitelnosti vodivosti ZrO keramik k teplotní disociaci molekul kyslíku O2. Byla provedena rešeršní studie vlastností ZrO keramik a vyhotoveno principální uspořádaní možných termálních zdrojů atomů kyslíku. Na základě teoretické studie byl vyhotoven 3D model vysokoteplotního zdroje atomárních svazku kyslíku disociovaných na povrchu ZrO keramik a současně byla vyhotovena kompletní výkresová dokumentace. Práce studenta byla intenzivní a přesahovala rámec zadání. Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání, projevoval nadměrný zájem o danou problematiku a při práci si počínal pečlivě
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita B
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu B

Známka navržená vedoucím: A

Cílem této práce bylo především navrhnout termální disociační zdroj svazku atomárního kyslíku včetně experimentů souvisejících s testováním některých funkčních dílů zdroje. Součástí zadání bylo také provedení rešeršní studie z oblasti atomárních svazků. Práce obsahuje nejenom tuto rešeršní studii, ale i srozumitelně psanou teoretickou část, ve které je čtenář seznámen s většinou základních fyzikálních principů, které tyto zdroje využívají. Teorie je čerpána z dostupné literatury, která je v práci citována. Je třeba ocenit autorovu adaptaci převzatých obrázků, které jsou zpracovány na vysoké grafické úrovni. Popisu návrhu a provedených experimentů je věnována poslední třetina práce, která je doplněna řadou zdařilých obrázků napomáhajících vytvoření dostatečné představy o vyvíjeném zdroji. Experimenty jsou dostatečně a srozumitelně komentovány. 
Vzhledem k rozsahu konstrukčních prací a kvalitě předložené práce, která obsahuje jen pár níže uvedených nepřesností, doporučuji ji k obhajobě a navrhuji hodnocení stupněm A.

-Na straně 41 je uvedeno nevhodné slovní spojení: „proháněn elektrický proud“.
-Na obrázku 6.13 je nakreslena značka země obráceně.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Otázky k obhajobě:
  1. Na straně 15 je popsáno využití elektronově stimulovanjé desorpce ve zdroji atomárního kyslíku. Popište obecně proces elektronově stimulované desorpce. Je možné, aby atomy desorbovaly se zde uvedenou energií 1650 eV? Je tato energie hypertermální?

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová