bakalářská práce

Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

Text práce 3.69 MB Příloha 261.51 kB

Autor práce: Ing. Jiří Babocký, Ph.D.

Ak. rok: 2011/2012

Vedoucí: Ing. Michal Kvapil, Ph.D.

Oponent: Ing. Petr Viewegh, Ph.D.

Abstrakt:

Tato bakalářská práce se zabývá výrobou plazmonických antén pomocí elektronové litografie. V první části jsou shrnuty informace o technologiích použitelných pro tvorbu kovových nano a mikrostruktur na křemíkovém a skleněném substrátu. V další části je popsána metoda elektronové litografie a technologie, které jsou pro ni používány. V závěrečné části jsou popsány provedené experimenty a vytvořen empirický model popisující závislost velikosti vyrobených struktur na parametrech litografie.

Klíčová slova:

EBL, elektronová litografie, plazmonické antény, empirický model

Termín obhajoby

20.06.2012

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znamkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (B3A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (B-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
Ing. Michal Kvapil, Ph.D.

Jiří Babocký se ve své práci zaměřil na tvorbu plazmonických antén pomocí elektronové litografie. Po proměření geometrie prvních vzorků zlatých antén na křemíkovém substrátu si autor uvědomil nedostatky, kterými vyrobené antény trpí a pokusil se některé z těchto nedostatků odstranit. Jím vytvořený empirický model závislosti rozměrů struktur na parametrech litografie pomůže k výrobě plazmonických struktur s přesnější geometrií.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací B
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Posudek oponenta
Ing. Petr Viewegh, Ph.D.

Student Jiří Babocký se ve své bakalářské práci věnuje experimentální studii výroby nano a mikrostruktur pro plazmonické aplikace pomocí elektronové litografie. V první části práce podává rešerši, kde velmi krátce předloží matematický model chování kovových struktur v elektromagnetickém poli a poté se věnuje různým druhům litografie a vyhodnocovacím metodám kvality geometrie struktur. Druhá část se zabývá praktickou výrobou a analýzou daných plazmonických struktur.
Tato práce jistě velmi napomohla řešené problematice na daném ústavu a splňuje všechny požadované cíle a zadání.
Po formální stránce práce obsahuje minimum gramatických chyb až na horší kontrast u některých schématických obrázků. Výtkou je však práce s literaturou včetně citací. Chybí odkazy na historické prameny v použitém textu a objevují se chyby ve jménech autorů. Dále chybí srovnání s dnešními poznatky v tomto vědním oboru.
Avšak po faktické stránce je daná práce velmi kvalitní a bez závažnějších chyb. Jako velmi přínosný hodnotím navržený empirický vztah mezi reálnou a navrženou velikostí struktur. Naměřená data jsou dále velmi pečlivě statisticky zpracována, což jim dodává na významnosti. Tuto práci proto navrhuji k obhajobě s výslednou známkou A.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací C
Otázky k obhajobě:
  1. 1. Vysvětlete a interpretujte výsledky obsažené v odstavci 6.1.1 (str. 30) věnované naměřeným datům zobrazeným v tabulce 6.1.
  2. 2. Definujte a popište pojmy použité na str. 6 (účinný průřez rozptylu, účinný průřez absorpce, 1. mód pro půlvlnný dipól).
  3. 3. Přibližte fyzikální vlastnosti (elektrická vodivost, krystalografické uspořádání,...) použitého substrátu - křemíku důležité pro elektronovou litografii.

Známka navržená oponentem: A

Odpovědnost: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová