Detail aplikovaného výsledku

Hrotové zařízení pro lokální depozice a měření na čipu

HRDÝ, R.; HUBÁLEK, J.

Originální název

Hrotové zařízení pro lokální depozice a měření na čipu

Anglický název

Grinding equipment for local deposition and measurement on-chip

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Přípravek umožňuje po připojení k zdroji kontaktovat a provádět lokální elektrodepozice přímo na křemíkových substrátrech nebo čipech a tak modifikovat vymezenou oblast. Dále umožňuje v kombinaci se Autolabem firmy MethroOhm provádět měření přímo v modifikované oblasti.

Abstrakt aglicky

The product allows the connection to the source contact and conduct local elektrodepozice directly on silicon chips and substrátrech or modify the defined area. It also allows the combined company AUTOLAB MethroOhm take measurements directly in the modified area. The device has regilovatelnou level pressure.

Klíčová slova

Point-contact measurements, local deposition, the silicon substrate

Klíčová slova anglicky

Point-contact measurements, local deposition, the silicon substrate

Umístění

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Možnosti využití

výsledek využívá pouze poskytovatel

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=17