Mikromanipulátor pro fotolitografii

Micromanipulator for photolithography

Funkční vzorek

Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela.

Equipment for precise particulars matching substrate fotomaskou for photolithography. It includes manipulators with přesnotí 0.5 um. The device is designed for 4-inch silicon wafer and the fixation device is placed precisely etched plate.

Mikroposuv. fotolitografie, kremíkový substrát

Micromanipulating. photolithography, silicon substrate

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

výsledek využívá pouze poskytovatel

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=16