Product detail

Mikromanipulátor pro fotolitografii

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela.

Keywords

Mikroposuv. fotolitografie, kremíkový substrát

Create date

23. 12. 2011

Location

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www